文献
J-GLOBAL ID:201702258241576479
整理番号:17A1906993
透過He+イオン顕微鏡法のためのカメラ
Camera for transmission He+ ion microscopy
著者 (3件):
Kavanagh Karen L.
(Physics Department, Simon Fraser University, Burnaby, British Columbia V5A 1S6, Canada)
,
Herrmann Christoph
(Physics Department, Simon Fraser University, Burnaby, British Columbia V5A 1S6, Canada)
,
Notte John A.
(Carl Zeiss Microscopy, Peabody, Massachusetts 01690)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
35
号:
6
ページ:
06G902-06G902-5
発行年:
2017年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)