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文献
J-GLOBAL ID：201702258259213934
整理番号：17A0403423
スケーラブルなプラズマ表面処理によるTiN析出と形態制御【Powered by NICT】
TiN deposition and morphology control by scalable plasma-assisted surface treatments
Baranov Oleg
(Plasma Laboratory, National Aerospace University “KhAI”, Kharkov, 61070, Ukraine)
,
Fang Jinghua
(School of Mathematical and Physical Sciences, Faculty of Science, The University of Technology, Sydney, NSW 2000, Australia)
,
Ostrikov Kostya (Ken)
(Institute for Future Environments, School of Chemistry, Physics and Mechanical Engineering, Queensland University of Technology, Brisbane, QLD 4000, Australia)
,
Ostrikov Kostya (Ken)
(CSIRO-QUT Joint Sustainable Materials and Devices Laboratory, Commonwealth Scientific and Industrial Research Organisation, P.O. Box 218, Lindfield, NSW 2070, Australia)
,
Cvelbar Uros
(Jozef Stefan Institute, Jamova cesta 39, SI-1000, Ljubljana, Slovenia)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 188 ページ： 143-153 発行年： 2017年
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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