文献
J-GLOBAL ID:201702258320614189
整理番号:17A1346303
CMOS-MEMSプロセスにおけるBEOL片持梁の曲率【Powered by NICT】
Curvature of BEOL Cantilevers in CMOS-MEMS Processes
著者 (4件):
Valle Juan
(Department of Electronic Engineering, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
,
Fernandez Daniel
(Nanusens, Cerdanyola del Valle`s, Spain)
,
Madrenas Jordi
(Department of Electronic Engineering, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
,
Barrachina Laura
(Owlstone, Cambridge, U.K.)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
26
号:
4
ページ:
895-909
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)