文献
J-GLOBAL ID:201702258374738276
整理番号:17A0527171
二重グレースケールデジタルマスクレスパターン描画を使用した曲がったマイクロレンズアレイの製作
Fabrication of a curved microlens array using double gray-scale digital maskless lithography
著者 (2件):
LUO Ningning
(Nanchang Hangkong Univ., Nanchang, CHN)
,
ZHANG Zhimin
(Nanchang Hangkong Univ., Nanchang, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
3
ページ:
035015,1-8
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)