文献
J-GLOBAL ID:201702258607886950
整理番号:17A0548606
RFマグネトロンスパタリングにより蒸着されたZrドープHfO2の強誘電性
Ferroelectricity of Zr-doped HfO2 deposited by RF magnetron sputtering
著者 (6件):
LIAO J. J.
(Tokyo Inst. of Technol.)
,
LIAO J. J.
(Xiangtan Univ.)
,
PENG Q. X.
(Tokyo Inst. of Technol.)
,
PENG Q. X.
(Xiangtan Univ.)
,
ZHOU Y. C.
(Xiangtan Univ.)
,
OHMI S.
(Tokyo Inst. of Technol.)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
64th
ページ:
ROMBUNNO.15a-513-2
発行年:
2017年03月01日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)