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文献
J-GLOBAL ID：201702258918394652
整理番号：17A1242556
薄い低誘電率材料の基質非依存性弾性率【Powered by NICT】
Substrate Independent Elastic Modulus of Thin Low Dielectric Constant Materials
Okudur Oguzhan Orkut
(Department of Materials Engineering, KU Leuven, B-3000 Leuven, Belgium)
,
Okudur Oguzhan Orkut
(imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Vanstreels Kris
(imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
de Wolf Ingrid
(Department of Materials Engineering, KU Leuven, B-3000 Leuven, Belgium)
,
de Wolf Ingrid
(imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Hangen Ude
(Hysitron Inc., Dennewartstrasse 25, 52068 Aachen, Germany)
,
Qiu Anqi
(Hysitron Inc., Minneapolis, Minnesota, USA)
資料名：
Advanced Engineering Materials
(Advanced Engineering Materials)
巻： 19 号： 8 ページ： null 発行年： 2017年
JST資料番号： W2018A ISSN： 1438-1656 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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