文献
J-GLOBAL ID:201702259362382154
整理番号:17A1604043
FePt薄膜における微細構造とグレイン配向分布に与えるスパッタリング圧力効果
Sputtering pressure effects on microstructure and grain orientation distribution in FePt thin films
著者 (2件):
LI Wei
(Univ. Sci. and Technol. Beijing, Beijing, CHN)
,
CHEN Leng
(Univ. Sci. and Technol. Beijing, Beijing, CHN)
資料名:
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻:
28
号:
18
ページ:
13579-13586
発行年:
2017年09月
JST資料番号:
W0003A
ISSN:
0957-4522
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)