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文献
J-GLOBAL ID：201702259461570781
整理番号：17A0407810
SiO_x含有ダイヤモンド状炭素被覆堆積中の基板バイアスの影響【Powered by NICT】
SiOx containing diamond like carbon coatings: Effect of substrate bias during deposition
Barve S.A.
(Laser and Plasma Technology Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Chopade S.S.
(Laser and Plasma Technology Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Kar R.
(Laser and Plasma Technology Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Chand N.
(Laser and Plasma Technology Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Deo M.N.
(Applied Spectroscopy Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Biswas A.
(Applied Spectroscopy Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Patel N.N.
(High Pressure and Synchrotron Radiation Physics Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
,
Rao G.M.
(Department of Instrumentation and Applied Physics, Indian Institute of Science, Bangalore 560 012, India)
,
Patil D.S.
(Department of Metallurgical Engineering and Materials Science, IIT-Bombay, Mumbai, India -400076)
,
Sinha S.
(Laser and Plasma Technology Division, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai 400085, India)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 71 ページ： 63-72 発行年： 2017年
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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