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J-GLOBAL ID：201702259826502056 整理番号：17A1142119

反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるナノコンポジットAlN薄膜の構造解析

著者 (8件)：

吉田智博

(福岡県工技セ機電研)

村澤功基

(オーエスジー)

工藤昌輝

(九大超顕微セ)

鳥山誉亮

(九大超顕微セ)

内田聖也

(九大大学院)

福井康雄

(オーエスジー)

櫻井正俊

(オーエスジー)

吉武剛

(九大大学院)

資料名：

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻： 78th ページ： ROMBUNNO.8p-PB1-14 発行年： 2017年08月25日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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