文献
J-GLOBAL ID:201702260004334513
整理番号:17A0994919
第2相粒子の効果と蒸着したITO膜の特性に及ぼすITOターゲットの元素分布【Powered by NICT】
Effects of second-phase particles and elemental distributions of ITO targets on the properties of deposited ITO films
著者 (3件):
Mei Fangsheng
(State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
,
Yuan Tiechui
(State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
,
Li Ruidi
(State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
資料名:
Ceramics International
(Ceramics International)
巻:
43
号:
12
ページ:
8866-8872
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0705A
ISSN:
0272-8842
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)