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文献
J-GLOBAL ID：201702260424325952
整理番号：17A0696038
高周波マグネトロンスパッタ法による可撓性高分子基板上へのモリブデン薄膜の堆積
Deposition of Molybdenum Thin Films on Flexible Polymer Substrates by Radio Frequency Magnetron Sputtering
ZHANG Rui
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
HUO Zhenxuan
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
JIAO Xiangquan
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
YANG Jie
(China Acad. Engineering Physics, Mian Yang, CHN)
,
DU Bo
(26th Inst. China Electronics Technol. Group Corp., Chongqing, CHN)
,
ZHONG Hui
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
SHI Yu
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
資料名：
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 16 号： 8 ページ： 8154-8159 発行年： 2016年08月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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