文献
J-GLOBAL ID:201702260712423961
整理番号:17A1772054
鞍状フィンデバイスにおけるドーピングプロファイルのための走査型広がり抵抗顕微鏡観察【Powered by NICT】
Scanning Spreading Resistance Microscopy for Doping Profile in Saddle-Fin Devices
著者 (7件):
Yang Chia-Ming
(Institute of Electro-Optical Engineering and Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Tao-Yuan, Taiwan)
,
Wei Chen-Kang
(Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Tao-Yuan, Taiwan)
,
Chen Hsiu-Pin
(Inotera Memories, Inc., Tao-Yuan, Taiwan)
,
Luo Jian-Shing
(Inotera Memories, Inc., Tao-Yuan, Taiwan)
,
Chang Yu Jing
(Inotera Memories, Inc., Tao-Yuan, Taiwan)
,
Wu Tieh-Chiang
(Inotera Memories, Inc., Tao-Yuan, Taiwan)
,
Lai Chao-Sung
(Institute of Electro-Optical Engineering and Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Tao-Yuan, Taiwan)
資料名:
IEEE Transactions on Nanotechnology
(IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻:
16
号:
6
ページ:
999-1003
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1355A
ISSN:
1536-125X
CODEN:
ITNECU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)