文献
J-GLOBAL ID:201702261045186856
整理番号:17A1090603
モデル依拠アルゴリズムを用いたLithoホットスポットの固定
Litho Hotspots Fixing Using Model Based Algorithm
著者 (10件):
ZHANG Meili
(Shanghai Huali Microelectronic Corp., Shanghai, CHN)
,
YU Shirui
(Shanghai Huali Microelectronic Corp., Shanghai, CHN)
,
MAO Zhibiao
(Shanghai Huali Microelectronic Corp., Shanghai, CHN)
,
SHAFEE Marwah
(Mentor Graphics Corp., Cairo, EGY)
,
MADKOUR Kareem
(Mentor Graphics Corp., Cairo, EGY)
,
ELMANHAWY Wael
(Mentor Graphics Corp., OR, USA)
,
KWAN Joe
(Mentor Graphics Corp., CA, USA)
,
HU Xinyi
(Mentor Graphics Corp., Shanghai, CHN)
,
WAN Qijian
(Mentor Graphics Corp., Shanghai, CHN)
,
DU Chunshan
(Mentor Graphics Corp., Shanghai, CHN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10148
ページ:
101481B.1-101481B.6
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)