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文献
J-GLOBAL ID：201702261058746600
整理番号：17A1462342
傾斜センサを例にした静的変位測定への応用のための非線形伝達特性をもつMOEMS変換器【Powered by NICT】
MOEMS transducer with a non-linear transfer characteristic for static displacement measurement applications on the example of an inclination sensor
Steiner H.
(Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria)
,
Hortschitz W.
(Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria)
,
Kainz A.
(Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria)
,
Stifter M.
(Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria)
,
Jachimowicz A.
(Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria)
,
Schalko J.
(Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria)
,
Keplinger F.
(Institute of Sensor and Actuator Systems, TU Wien, Gusshausstr. 27, Vienna, Austria)
,
Kohl F.
(Center for Integrated Sensor Systems, Danube University Krems, Viktor Kaplan Str. 2, Wiener Neustadt, Austria)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 263 ページ： 727-732 発行年： 2017年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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