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文献
J-GLOBAL ID：201702261107172083
整理番号：17A0953291
容量結合したVHF H2プラズマの空間的プロファイルのシミュレーション検討
Study of spatial profiles of capacitively coupled VHF H2 plasma by simulation
CHEN Kuan-Chen
(Feng Chia Univ., Taichung, TWN)
,
CHEN Kuan-Chen
(Central Taiwan Univ. Sci. and Technol., Taichung, TWN)
,
CHIU Kuo-Feng
(Feng Chia Univ., Taichung, TWN)
,
OGIWARA Kohei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SU Li-Wen
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
UCHINO Kiichiro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KAWAI Yoshinobu
(Feng Chia Univ., Taichung, TWN)
,
KAWAI Yoshinobu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56 号： 1S ページ： 01AC05.1-01AC05.8 発行年： 2017年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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