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文献
J-GLOBAL ID：201702261269959553
整理番号：17A0994633
直流マグネトロンスパッタリング(DCMS)による厚いα-Ta皮膜の作製と熱衝撃性能【Powered by NICT】
Preparation and thermal shock performance of thick α-Ta coatings by direct current magnetron sputtering (DCMS)
Niu Yunsong
(Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China)
,
Chen Minghui
(Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China)
,
Wang Jinlong
(Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China)
,
Wang Jinlong
(Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China)
,
Yang Lixin
(Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, 72 Wenhua Road, Shenyang 110016, China)
,
Guo Cean
(School of Equipment Engineering, Shenyang Ligong University, Shenyang 110159, China)
,
Zhu Shenglong
(Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China)
,
Wang Fuhui
(Lab for Corrosion and Protection, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China)
,
Wang Fuhui
(Key Laboratory for Anisotropy and Texture of Materials (Ministry of Education), School of Material Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang 110819, China)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 321 ページ： 19-25 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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