文献
J-GLOBAL ID:201702261302667563
整理番号:17A1421023
PECVDにより堆積した水素化非晶質炭化けい素薄膜の室温光ルミネセンス特性に及ぼす炭素含有量とプラズマ出力の影響【Powered by NICT】
Effects of carbon content and plasma power on room temperature photoluminescence characteristics of hydrogenated amorphous silicon carbide thin films deposited by PECVD
著者 (2件):
Guenes Ibrahim
(Department of Physics, Canakkale Onsekiz Mart University, 17100 Canakkale, Turkey)
,
Sel Kivanc
(Department of Physics, Canakkale Onsekiz Mart University, 17100 Canakkale, Turkey)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
636
ページ:
85-92
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)