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文献
J-GLOBAL ID：201702261497261179
整理番号：17A1359888
実験とモデリングに基づく3D技術におけるB TIの形状依存性に関する新たな洞察【Powered by NICT】
New insight on the geometry dependence of BTI in 3D technologies based on experiments and modeling
Garros Xavier
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
,
Laurent Antoine
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
,
Barraud Sylvain
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
,
Lacord J.
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
,
Faynot Olivier
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
,
Ghibaudo Gerard
(IMEP-LAHC, Minatec/INPG, 38016 Grenoble, France)
,
Reimbold Gilles
(CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： VLSI Technology ページ： T134-T135 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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