文献
J-GLOBAL ID:201702261635232509
整理番号:17A0362469
ナノメートルスケールの電子デバイス解析のための走査マイクロ波顕微鏡法【Powered by NICT】
Scanning Microwave Microscopy for Electronic Device Analysis on Nanometre Scale
著者 (7件):
Hommel S.
(Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-12, 85579 Neubiberg, Germany)
,
Killat N.
(Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-12, 85579 Neubiberg, Germany)
,
Altes A.
(Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-12, 85579 Neubiberg, Germany)
,
Schweinboeck T.
(Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-12, 85579 Neubiberg, Germany)
,
Schmitt-Landsiedel D.
(Department of Technical Electronics, Technical University of Munich, Arcisstrasse 21, 80333 Munich, Germany)
,
Silvestri M.
(Infineon Technologies Austria AG, Siemensstrasse 2, 9500 Villach, Austria)
,
Haeberlen O.
(Infineon Technologies Austria AG, Siemensstrasse 2, 9500 Villach, Austria)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
64
ページ:
310-312
発行年:
2016年
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)