文献
J-GLOBAL ID:201702261649736181
整理番号:17A1836325
カーボンナノチューブ上の低温パルス自己整合ナノトレンチアブレーションにより可能になったSub-15nmナノワイヤ【Powered by NICT】
Sub-15 nm nanowires enabled by cryo pulsed self-aligned nanotrench ablation on carbon nanotubes
著者 (6件):
Deshmukh Sanchit
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
,
Lian Feifei
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
,
Yalon Eilam
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
,
Pitner Gregory
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
,
Wong H.-S. Philip
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
,
Pop Eric
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
NANO
ページ:
489-490
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)