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文献
J-GLOBAL ID：201702261710766826
整理番号：17A0406394
VHF MEMS共振器のための低寄生効果を持つ0レベル真空封止技術【Powered by NICT】
A zero-level vacuum encapsulation technique with less parasitic effect for VHF MEMS resonators
Zhao Jicong
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Zhao Jicong
(State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai 200050, PR China)
,
Yuan Quan
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Luo Wei
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Luo Wei
(State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai 200050, PR China)
,
Chen Yu
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Chen Yu
(State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai 200050, PR China)
,
Yang Jinling
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Yang Jinling
(University of Chinese Academy of Science, Beijing 100049, PR China)
,
Yang Jinling
(State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai 200050, PR China)
,
Yang Fuhua
(Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China)
,
Yang Fuhua
(University of Chinese Academy of Science, Beijing 100049, PR China)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 252 ページ： 104-111 発行年： 2016年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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