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文献
J-GLOBAL ID：201702261742458582
整理番号：17A0550490
MgO粉末を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の特性評価
吉岡慎吾
(龍谷大 理工)
,
野々村秋人
(龍谷大 理工)
,
磯川裕哉
(龍谷大 理工)
,
佐竹聖樹
(明石工高専)
,
中村重之
(津山工高専)
,
財部健一
(岡山理大)
,
福井一俊
(福井大)
,
澤畠淳二
(茨城工高専)
,
伊藤國雄
(龍谷大 理工)
,
番貴彦
(龍谷大 理工)
,
山本伸一
(龍谷大 理工)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th ページ： ROMBUNNO.16p-P3-2 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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