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文献
J-GLOBAL ID：201702262056203092
整理番号：17A0632770
連続波テラヘルツ分光法を使うシリコンウエハのテラヘルツ透過特性
Terahertz transmission properties of silicon wafers using continuous-wave terahertz spectroscopy
KIM Chihoon
(Korea Photonics Technol. Inst., Gwangju, KOR)
,
KIM Chihoon
(Chonnam National Univ., Gwangju, KOR)
,
AHN Jae Sung
(Korea Photonics Technol. Inst., Gwangju, KOR)
,
JI Taeksoo
(Chonnam National Univ., Gwangju, KOR)
,
EOM Joo Beom
(Korea Photonics Technol. Inst., Gwangju, KOR)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 28 号： 4 ページ： 045201,1-6 発行年： 2017年04月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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