文献
J-GLOBAL ID:201702262108375361
整理番号:17A1638469
プラズマ増強化学蒸着を用いた保護SiO-層の作製と評価【Powered by NICT】
Fabrication and evaluation of protective SiO layers using plasma-enhanced chemical vapor deposition
著者 (2件):
Jeong Hyunju
(Materials Performance Research Group, POSCO, Incheon, South Korea)
,
Cho Jeadong
(Materials Performance Research Group, POSCO, Incheon, South Korea)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
330
ページ:
71-76
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)