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文献
J-GLOBAL ID：201702262140730040
整理番号：17A1256981
株(BEOL)設計ルール研究の複雑なバックエンドのためのレイアウトに基づくモンテカルロシミュレーション(LBMCS)【Powered by NICT】
Layout based Monte-Carlo simulation (LBMCS) for complex back end of line (BEOL) design rule study
Shao Dongbing
(IBM Semiconductor Technology Research, 257 Fuller Rd, Albany, NY)
,
Clevenger L. A.
(IBM Semiconductor Technology Research, 257 Fuller Rd, Albany, NY)
,
Chen Shyng-Tsong
(IBM Semiconductor Technology Research, 257 Fuller Rd, Albany, NY)
,
Wong Robert
(IBM Semiconductor Technology Research, 257 Fuller Rd, Albany, NY)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IITC ページ： 1-3 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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