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J-GLOBAL ID：201702262223739447 整理番号：17A1693877

異種金属からなる不動態化ラインの直角コーナー周辺のエレクトロマイグレーション損傷の理論的考察

Theoretical consideration of electromigration damage around a right-angled corner in a passivated line composed of dissimilar metals

著者 (3件)：

SAKA Masumi

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

KIMURA Yasuhiro

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

ZHAO Xu

(Akita Univ., Akita, JPN)

資料名：

Microsystem Technologies (Microsystem Technologies)

巻： 23 号： 10 ページ： 4523-4530 発行年： 2017年10月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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