文献
J-GLOBAL ID:201702262762687359
整理番号:17A0329396
MetalMUMP製造プロセスにより開発されたMEMS装置の疲労試験【Powered by NICT】
Fatigue testing of MEMS device developed by MetalMUMPs fabrication process
著者 (5件):
Islam Syed Osama Bin
(National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
,
Abbas Muhammad Zaeem
(National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
,
Rehman Saad
(National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
,
Khan Umar Shahbaz
(National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
,
Saleem Muhammad Mubasher
(National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ICCIT
ページ:
550-556
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)