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文献
J-GLOBAL ID：201702262791097343
整理番号：17A0402518
化学蒸着により堆積したSiOCH薄膜:低κ化学的および生化学的センサまで【Powered by NICT】
SiOCH thin films deposited by chemical vapor deposition: From low-κ to chemical and biochemical sensors
Jousseaume V.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Jousseaume V.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
El Sabahy J.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
El Sabahy J.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Yeromonahos C.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Yeromonahos C.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Castellan G.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Castellan G.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Bouamrani A.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Bouamrani A.
(CEA, LETI-Clinatec, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Ricoul F.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Ricoul F.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 167 ページ： 69-79 発行年： 2017年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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