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文献
J-GLOBAL ID：201702263387512381
整理番号：17A1567891
高FOMと減少した作製複雑性を持つ2GHz以上のScAlNベースLCATモード共振器【Powered by NICT】
ScAlN-Based LCAT Mode Resonators Above 2 GHz With High FOM and Reduced Fabrication Complexity
Zhu Yao
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
,
Wang Nan
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
,
Chua Gengli
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
,
Sun Chengliang
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
,
Singh Navab
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
,
Gu Yuandong
(Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research, Singapore)
資料名：
IEEE Electron Device Letters
(IEEE Electron Device Letters)
巻： 38 号： 10 ページ： 1481-1484 発行年： 2017年
JST資料番号： B0344B ISSN： 0741-3106 CODEN： EDLEDZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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