文献
J-GLOBAL ID:201702263605076895
整理番号:17A1810730
シリコン結晶中の超音速表面波速度の測定とその有限要素法による比較
Measurement of ultrasonic surface wave velocities in silicon crystals and its comparison with finite element analysis
著者 (5件):
PARK Hye Soo
(Korea Sci. Acad. of KAIST, Busan, KOR)
,
LEE Hyun-Seok
(Korea Sci. Acad. of KAIST, Busan, KOR)
,
LEE Hyeon-Soo
(Korea Sci. Acad. of KAIST, Busan, KOR)
,
KIM Hak-Beom
(Korea Sci. Acad. of KAIST, Busan, KOR)
,
KIM Young H.
(Korea Sci. Acad. of KAIST, Busan, KOR)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
7S1
ページ:
07JB04.1-07JB04.5
発行年:
2017年07月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)