文献
J-GLOBAL ID:201702263687514418
整理番号:17A0274883
光学表面の微細成形法としての有機けい素蒸気レーザ熱分解【Powered by NICT】
Organosilicon vapor laser pyrolysis as the method of fine forming of optical surfaces
著者 (5件):
Dorofeeva E.V.
(M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
,
Lobanov P. Yu.
(M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
,
Manuylovich I.S.
(M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
,
Meshkov M.N.
(M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
,
Sidoryuk O.E.
(M.F. Stelmakh ”Polyus” Research Institute, Moscow, Russia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
CAOL
ページ:
88-90
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)