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文献
J-GLOBAL ID：201702263845412362
整理番号：17A1383273
反応性スパッタリングにより作製したペロブスカイト酸窒化物SrTaO_2N薄膜の厚さの関数としての蒸着と誘電的研究【Powered by NICT】
Deposition and dielectric study as function of thickness of perovskite oxynitride SrTaO2N thin films elaborated by reactive sputtering
Marlec F.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
,
Le Paven C.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
,
Le Gendre L.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
,
Benzerga R.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
,
Chevire F.
(Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR - UMR CNRS 6226), Equipe Verres et Ceramiques, Universite de Rennes 1, 35042 Rennes cedex, France)
,
Tessier F.
(Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR - UMR CNRS 6226), Equipe Verres et Ceramiques, Universite de Rennes 1, 35042 Rennes cedex, France)
,
Gam F.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
,
Sharaiha A.
(Institut d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT Saint-Brieuc, Universite de Rennes 1, 22000 Saint Brieuc, France)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 324 ページ： 607-613 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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