文献
J-GLOBAL ID:201702263848373471
整理番号:17A1255461
生産試験データの統計的解析による半導体製造におけるRe燃焼の除去【Powered by NICT】
Eliminating Re-Burn-In in semiconductor manufacturing through statistical analysis of production test data
著者 (3件):
Pham Hung V.
(School of Engineering, RMIT University, Centre of Technology Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Demidenko Serge N.
(School of Engineering & Advanced Technology, Massey University, Auckland, New Zealand)
,
Merola Giovanni M.
(Department of Mathematical Sciences, Xi’an Jiaotong Liverpool University, Suzhou, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
I2MTC
ページ:
1-6
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)