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文献
J-GLOBAL ID：201702263920898151
整理番号：17A1220441
非晶質窒化炭素膜の光誘起変形への窒素の寄与
Contribution of nitrogen to the photoinduced deformation of amorphous carbon nitride films
HARATA Tomo
(National Defense Acad., Kanagawa, JPN)
,
AONO Masami
(National Defense Acad., Kanagawa, JPN)
,
KITAZAWA Nobuaki
(National Defense Acad., Kanagawa, JPN)
,
WATANABE Yoshihisa
(National Defense Acad., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 55 号： 1S ページ： 01AA01.1-01AA01.4 発行年： 2016年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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