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文献
J-GLOBAL ID：201702264156721000
整理番号：17A0475056
SiとGeにおけるレーザアニーリング:異常な物理的側面とモデリングアプローチ【Powered by NICT】
Laser annealing in Si and Ge: Anomalous physical aspects and modeling approaches
Lombardo S.F.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada 5, 95121 Catania, Italy)
,
Lombardo S.F.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via Santa Sofia 64, 95125 Catania, Italy)
,
Boninelli S.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Via S. Sofia 64, 95123 Catania, Italy)
,
Cristiano F.
(LAAS, CNRS and University of Toulouse, 7 av. Du Col. Roche, 31400 Toulouse, France)
,
Fisicaro G.
(University of Basel University of Basel, Klingelbergstrasse 82, CH-4056 Basel, Switzerland)
,
Fortunato G.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada 5, 95121 Catania, Italy)
,
Grimaldi M.G.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via Santa Sofia 64, 95125 Catania, Italy)
,
Grimaldi M.G.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Via S. Sofia 64, 95123 Catania, Italy)
,
Impellizzeri G.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Via S. Sofia 64, 95123 Catania, Italy)
,
Italia M.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada 5, 95121 Catania, Italy)
,
Marino A.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada 5, 95121 Catania, Italy)
,
Milazzo R.
(CNR-IMM MATIS and Dipartimento di Fisica Astronomia, Universita di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
,
Napolitani E.
(CNR-IMM MATIS and Dipartimento di Fisica Astronomia, Universita di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
,
Privitera V.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Via S. Sofia 64, 95123 Catania, Italy)
,
La Magna A.
(Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), VIII Strada 5, 95121 Catania, Italy)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 62 ページ： 80-91 発行年： 2017年
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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