文献
J-GLOBAL ID:201702264349102386
整理番号:17A0362413
ウエハプロセスのための自動車用品質を達成するためのツールとしての高速ウエハレベル信頼性モニタリング【Powered by NICT】
Fast wafer level reliability monitoring as a tool to achieve automotive quality for a wafer process
著者 (6件):
Martin A.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
,
Vollertsen R.-P.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
,
Mitchell A.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
,
Traving M.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
,
Beckmeier D.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
,
Nielen H.
(Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
64
ページ:
2-12
発行年:
2016年
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)