文献
J-GLOBAL ID:201702264673551395
整理番号:17A0118274
Q増強とフィードスルー電流除去のためのMEMSベース静電共振器のための新しい特性化法【Powered by NICT】
A novel characterization method for MEMS based electrostatic resonators for Q enhancement and feedthrough current elimination
著者 (5件):
Aydin E.
(Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
,
Kangul M.
(Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
,
Gokce F.
(Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
,
Zorlu O.
(Mikro Biyosistemler Elektronik Sanayi ve Ticaret A.S,., Ankara, Turkey)
,
Kulah H.
(Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SENSORS
ページ:
1-3
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)