文献
J-GLOBAL ID:201702264714050026
整理番号:17A0526717
クリティカルディメンジョン計測用の原子間力顕微鏡法の進歩
Advances in the atomic force microscopy for critical dimension metrology
著者 (5件):
HUSSAIN Danish
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
AHMAD Khurshid
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
AHMAD Khurshid
(Univ. Engineering and Technol. Peshawar, PAK)
,
SONG Jianmin
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
XIE Hui
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
28
号:
1
ページ:
012001,1-26
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)