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文献
J-GLOBAL ID：201702264721409206
整理番号：17A0132699
透明ポリイミド上に低温型熱的原子層堆積法で堆積したAl2O3およびZnO多層薄膜の特性評価
Characterization of Al2O3 and ZnO multilayer thin films deposited by low temperature thermal atomic layer deposition on transparent polyimide
Song Seung Hak
(School of Mechanical Engineering, Korea University, Seoul 136-707, South Korea)
,
Lee Myoung Youb
(School of Mechanical Engineering, Korea University, Seoul 136-707, South Korea)
,
Lee Gyeong Beom
(School of Mechanical Engineering, Korea University, Seoul 136-707, South Korea)
,
Choi Byoung-Ho
(School of Mechanical Engineering, Korea University, Seoul 136-707, South Korea)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35 号： 1 ページ： 01B110-01B110-9 発行年： 2017年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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