文献
J-GLOBAL ID:201702264722351507
整理番号:17A1269164
ループチャネル型小型ホールによる精密空中浮遊表【Powered by NICT】
A precision air floating table with the miniature holes with loop channels type
著者 (5件):
Chang Chih-Chieh
(Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
,
Lin Cheng-Yi
(Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
,
Yang Zheng-Wei
(Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
,
Lien Chi-Hsiang
(Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
,
Guu Yunn-Horng
(Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICASI
ページ:
380-381
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)