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文献
J-GLOBAL ID：201702264734213625
整理番号：17A0028307
三次元ナノ構造を有するシリコンベースのバイオFET:容易な集積化,正確なナノ構造の制御,およびデバイス間のばらつき低減
Silicon-Based BioFETs with 3-D Nanostructure: Easy integration, precise control of nanostructure, and a low device-to-device variation
Kim Kihyun
(Department of Creative IT Engineering and Future IT Innovation Lab, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Park Chanoh
(Department of Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Meyyappan M.
(Department of Creative IT Engineering and Future IT Innovation Lab, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Lee Jeong-Soo
(Department of Creative IT Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
資料名：
IEEE Nanotechnology Magazine
(IEEE Nanotechnology Magazine)
巻： 10 号： 3 ページ： 21-29 発行年： 2016年
JST資料番号： W2236A ISSN： 1932-4510 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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