文献
J-GLOBAL ID:201702264826356511
整理番号:17A0982490
位相シフト測定システムにおける不均一な表面反射率による位相誤差の解析と低減
Analysis and reduction of phase errors caused by nonuniform surface reflectivity in a phase-shifting measurement system
著者 (5件):
CHEN Songlin
(China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
XIA Renbo
(China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHAO Jibin
(China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHANG Hongyao
(China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
HU Maobang
(China Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
56
号:
3
ページ:
033102.1-033102.9
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)