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文献
J-GLOBAL ID：201702265107163562
整理番号：17A0057828
15nmボックスへ:22fdを越えた平面完全空乏化応用のためのSOI拡張可能性【Powered by NICT】
Down to 15nm BOX: SOI extendability for planar fully depleted application beyond 22FD
Schwarzenbach W.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Allibert F.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Le Royer C.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Grenouillet L.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Malaquin C.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Bertrand-Giuliani C.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Boedt F.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Loubriat S.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Michau C.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Parissi D.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Nguyen B.-Y.
(Soitec, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： S3S ページ： 1-2 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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