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文献
J-GLOBAL ID：201702265759887959
整理番号：17A1731247
AlN MEMSとCMOSチップの3次元不均一積分による自己修復狭帯域フィルタ【Powered by NICT】
Self-healing narrowband filters via 3D heterogeneous integration of AlN MEMS and CMOS chips
Calayir Enes
(Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
,
Xu Jinglin
(Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
,
Pileggi Larry
(Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
,
Fedder Gary K.
(Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
,
Merugu Srinivas
(Institute of Microelectronics, Agency for Science and Technology (A*STAR), Singapore)
,
Singh Navab
(Institute of Microelectronics, Agency for Science and Technology (A*STAR), Singapore)
,
Piazza Gianluca
(Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IUS ページ： 1 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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