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文献
J-GLOBAL ID：201702266056963811
整理番号：17A1277119
SMA薄膜アクチュエータアレイ上のSU8微小ピンとばねを用いた触覚ディスプレイMEMSデバイス【Powered by NICT】
Tactile display MEMS device with SU8 micro-pin and spring on SMA film actuator array
Mineta Takashi
(Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan)
,
Yanatori Hiroshi
(Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan)
,
Hiyoshi Kenta
(Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan)
,
Tsuji Kazuki
(Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan)
,
Ono Yasuhiro
(Advanced Development Dept., R&D Center, Tokai Rika CO. LTD, Aichi, Japan)
,
Abe Konomu
(Advanced Development Dept., R&D Center, Tokai Rika CO. LTD, Aichi, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： TRANSDUCERS ページ： 2031-2034 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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