文献
J-GLOBAL ID:201702266086892421
整理番号:17A0463103
半絶縁性暗視野二本バーM1ビルディングブロックのための強度平衡による0.33NA EUVLにおける照明瞳孔最適化
Illumination pupil optimization in 0.33NA EUVL by intensity balancing for semi-iso dark field two-bar M1 building blocks
著者 (4件):
LAST T.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
DE WINTER L.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
VAN ADRICHEM P.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
FINDERS J.
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10032
ページ:
100320A.1-100320A.7
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)