文献
J-GLOBAL ID:201702266192138303
整理番号:17A0825547
ZnO上のZnInONのスパッタ蒸着中の酸素と窒素原子の密度と表面反応確率【Powered by NICT】
Densities and Surface Reaction Probabilities of Oxygen and Nitrogen Atoms During Sputter Deposition of ZnInON on ZnO
著者 (9件):
Matsushima Koichi
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Ide Tomoaki
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Takeda Keigo
(Department of Quantum Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan)
,
Hori Masaru
(Department of Quantum Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan)
,
Yamashita Daisuke
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Seo Hyunwoong
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Koga Kazunori
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Shiratani Masaharu
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Itagaki Naho
(Kyushu University, Fukuoka, Japan)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
45
号:
2
ページ:
323-327
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)