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文献
J-GLOBAL ID：201702266198406548
整理番号：17A0079799
マグネトロンスパッタリングによる透明導電性チタン-ガリウム-亜鉛酸化物膜の構造,電気及び光学特性
Structural, electrical and optical properties of transparent conductive titanium-gallium-zinc oxide films by magnetron sputtering
Lu Zhou
(College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Lu Zhou
(Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Kang H.
(College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Kang H.
(Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Zhong Z.
(College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Zhong Z.
(Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Zhang T.
(College of Electronic Information Engineering, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
,
Zhang T.
(Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, South-Central University for Nationalities, Wuhan, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 27 号： 12 ページ： 13271-13279 発行年： 2016年12月
JST資料番号： W0003A ISSN： 0957-4522 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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