文献
J-GLOBAL ID:201702266275271949
整理番号:17A1356878
初期条件に依存する蒸着アルミニウム層のパラメータの評価【Powered by NICT】
The evaluation of parameters of evaporated aluminium layers depending on initial conditions
著者 (3件):
Beshajova Ivana Pelikanova
(Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic)
,
Molhanec Martin
(Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic)
,
Dusek Karel
(Department of Electrotechnology, Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Prague, Czech Republic)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ISSE
ページ:
1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)