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文献
J-GLOBAL ID:201702266276688891   整理番号:17A0994663

マグネトロンスパッタリングにより堆積したAZO薄膜の構造的,光学的および電気的特性に対する熱アニーリングの影響【Powered by NICT】

The influence of thermal annealing on the structural, optical and electrical properties of AZO thin films deposited by magnetron sputtering
著者 (10件):
Meljanac Daniel
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Juraic Krunoslav
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Mandic Vilko
(University of Valenciennes and Hainaut-Cambresis, Boulevard du General de Gaulle, FR-59600 Maubeuge, France)
Skenderovic Hrvoje
(Institute of Physics, Bijenicka 46, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Bernstorff Sigrid
(Elettra-Sincrotrone Trieste, SS 14, Km 163.5, I-34049 Basovizza, (TS), Italy)
Plaisier Jasper R.
(Elettra-Sincrotrone Trieste, SS 14, Km 163.5, I-34049 Basovizza, (TS), Italy)
Santic Ana
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Gajovic Andreja
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Santic Branko
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)
Gracin Davor
(Ruder Boskovic Institute, Bijenicka 54, HR-10000 Zagreb, Croatia)

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 321  ページ: 292-299  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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